Puslaidininkių gamintojams toliau pereinant prie pažangių pakavimo technologijų, įskaitant lustų integravimą, „flip-chip“ sujungimą ir 3D IC architektūras, labai patikimos kriogeninės infrastruktūros poreikis tapo svarbesnis nei bet kada anksčiau. Šioje aplinkoje sistemos, sukurtos aplinkHL kriogeninisVakuuminis apvalkalas, izoliuotas vamzdis, separatorius, vožtuvas ir vožtuvų dėžė atlieka esminį vaidmenį palaikant šiluminį tikslumą ir eksploatacinį stabilumą.

Kriogeninė kontrolė didelio tikslumo pakavimo linijose

Šiuolaikiniai lustų pakavimo ir bandymo procesai dažnai susiję su dideliais temperatūros svyravimais, ypač atliekant terminius ciklus, atliekant patikimumo patikrą ir charakterizuojant žemoje temperatūroje. Pagrindinė HL kriogeninio rezervuaro funkcijavakuuminiu būdu izoliuotas vamzdisyra tiekti kriogeninį skystį, paprastai skystą azotą, tuo pačiu sumažinant šilumos patekimą iš aplinkinės švarios patalpos aplinkos.

Dėl aukšto vakuumo lygio ir daugiasluoksnės izoliacijos konstrukcijos HL kriogeninis...vakuuminiu apvalkalu dengtas vamzdisSistema efektyviai slopina šilumos nutekėjimą, palaikydama skystį stabilioje skystos fazės būsenoje dideliais atstumais. Tai užtikrina pastovų aušinimo našumą keliose bandymų stotyse, pašalinant temperatūros svyravimus, kurie kitaip galėtų turėti įtakos puslaidininkių veikimo duomenims.

Nuovargiui jautriose bandymų aplinkose net ir nedidelis temperatūros svyravimas gali turėti įtakos matavimo tikslumui. Štai kodėl vis daugiau bandymų laboratorijų pereina prie HL kriogeninių vakuuminiu būdu izoliuotų vamzdžių sistemų kaip ilgalaikio sprendimo stabiliam kriogeniniam tiekimui.

Fazės stabilumas garantuojamasFazių separatorius

Eksploatacijos metu dalis kriogeninio skysčio neišvengiamai išgaruoja, nes sugeria aplinkos šilumą. HL kriogeninisfazių separatoriusatlieka esminį vaidmenį atskiriant garus nuo skysčio, kol jie nepasiekia kritinės įrangos. Tai užtikrina, kad į jautrias bandymų kameras ir zondų stotis patektų tik atšaldytas skystis.

Užkirsdamas kelią dviejų fazių srautui, HL kriogeninis fazių separatorius žymiai pagerina proceso kartojamumą ir apsaugo tolesnius valdymo komponentus nuo srauto nestabilumo. Tai tampa vis svarbiau, nes pažangiose mazgų technologijose mažėja įrenginių geometrija ir mažėja tolerancijos langai.

Eksploatavimo saugą valdoVožtuvasirVožtuvų dėžutė

Kriogeninių skysčių srautas ir slėgis HL kriogeninėje vakuuminėje vamzdžių sistemoje reguliuojami specialiai suprojektuotais HL kriogeniniais vožtuvais. Šie komponentai sukurti taip, kad patikimai veiktų esant itin žemai temperatūrai ir greitiems terminiams pokyčiams.

Siekiant dar labiau padidinti sistemos saugą ir prieinamumą, kiekvienas HL kriogeninis vožtuvas yra įmontuotas izoliuotoje HL kriogeninio vožtuvo dėžutėje. Vožtuvo dėžutė apsaugo vožtuvą nuo drėgmės patekimo, sumažina šerkšno susidarymą ir leidžia technikams atlikti patikrinimus ir reguliavimą nepažeidžiant aplinkinių zonų šiluminės pusiausvyros.

Ši kompaktiška, modulinė konfigūracija taip pat gerai atitinka griežtus erdvinius apribojimus, būdingus puslaidininkių pakavimo gamykloms ir švarioms patalpoms.

Išmanus infrastruktūros pasirinkimas pažangioms puslaidininkių įstaigoms

Kadangi pramonė siekia didesnio integracijos tankio ir griežtesnių bandymų standartų, kriogeninė infrastruktūra nebėra antraeilis dalykas. Puslaidininkių gamintojai, investuojantys į HL kriogeninius vakuume izoliuotus vamzdžius, HL kriogeniniai...vakuuminiu apvalkalu dengtas vamzdis, separatorius, vožtuvasirvožtuvų dėžutėsistemos įgyja išmatuojamų pranašumų efektyvumo, saugumo ir ilgalaikės sąnaudų kontrolės srityse.

Konkurencingoje gamybos aplinkoje kriogeninio tinklo stabilumas gali turėti įtakos produkto išeigai, įrangos tarnavimo laikui ir veikimo nuoseklumui, todėl HL kriogeniniai sprendimai yra esminė puslaidininkių infrastruktūros dalis.