Trumpas molekulinės spindulio epitaksijos (MBE)
Šeštajame dešimtmetyje buvo sukurta molekulinės pluošto epitaksijos (MBE) technologija, siekiant paruošti plonos plonos plėvelės medžiagas, naudojant vakuuminio garinimo technologiją. Tobulinant ypač aukštos vakuuminės technologijos, technologijos pritaikymas buvo išplėstas puslaidininkių mokslo sričiai.
Puslaidininkių medžiagų tyrimų motyvacija yra naujų prietaisų paklausa, o tai gali pagerinti sistemos veikimą. Savo ruožtu naujos medžiagos technologijos gali gaminti naują įrangą ir naują technologiją. Molekulinės pluošto epitaksija (MBE) yra didelė vakuuminė technologija epitaksiniam sluoksniui (paprastai puslaidininkio) augimui. Jis naudoja šaltinio atomų arba molekulių šilumos pluoštą, turinčią įtakos vieno kristalo substrato. Itin didelės proceso vakuuminės savybės leidžia metalizuoti ir augti izoliacinėms medžiagoms naujai užaugusiems puslaidininkiniams paviršiams, todėl sąsajos be taršos.
MBE technologija
Molekulinės pluošto epitaksija buvo atlikta dideliame vakuume arba ypač aukštai vakuume (1 x 10-8PA) aplinka. Svarbiausias molekulinės pluošto epitaksijos aspektas yra jo žemas nusėdimo greitis, kuris paprastai leidžia plėvelei epitaksiniam augti mažesniu kaip 3000 nm per valandą greičiu. Toks mažas nusėdimo greitis reikalauja pakankamai aukšto vakuumo, kad būtų pasiektas toks pat švaros lygis kaip ir kiti nusodinimo metodai.
Norint patenkinti aukščiau aprašytą ypač aukštą vakuumą, MBE įtaisas （„Knudsen“ ląstelė） turi aušinimo sluoksnį, o augimo kameros ypač aukšta vakuuminė aplinka turi būti palaikoma naudojant skystos azoto cirkuliacijos sistemą. Skystas azotas atvėsina prietaiso vidinę temperatūrą iki 77 Kelvin (–196 ° C). Žemos temperatūros aplinka gali dar labiau sumažinti priemaišų kiekį vakuume ir suteikti geresnes sąlygas plonų plėvelių nusėdimui. Todėl MBE įrangai reikalinga speciali skysto azoto aušinimo cirkuliacijos sistema, kad būtų užtikrintas nuolatinis ir pastovus -196 ° C skysčio azoto tiekimas.
Skystų azoto aušinimo cirkuliacijos sistema
Vakuuminis skysčio azoto aušinimo cirkuliacijos sistema daugiausia apima,
● Kriogeninis bakas
● Pagrindinis ir šakinis vakuuminis vamzdis / vakuuminis apvalkalas
● MBE specialus fazių separatorius ir vakuuminis apvalkalas išmetimo vamzdis
● Įvairūs vakuuminiai vožtuvai
● Dujų ir skysčių barjeras
● Vakuuminis apvalkalas
● Dinaminė vakuuminės siurblio sistema
● Išankstinio aušinimo ir išvalymo pakartotinio pašildymo sistema
HL kriogeninės įrangos įmonė pastebėjo MBE skysto azoto aušinimo sistemos paklausą, organizavo techninį stuburą, kad sėkmingai sukurtų specialią MBE skysčio azoto aušinimo sistemą MBE technologijoms ir visą vakuuminio insulato rinkinįedVamzdynų sistema, kuri buvo naudojama daugelyje įmonių, universitetų ir tyrimų institutų.
HL kriogeninė įranga
1992 m. Įkurta HL kriogeninė įranga yra prekės ženklas, susijęs su Chengdu šventos kriogeninės įrangos kompanija Kinijoje. HL kriogeninė įranga yra įsipareigojusi kurti ir gaminti aukšto vakuuminio izoliuotos kriogeninės vamzdynų sistemos ir susijusios atraminės įrangos projektavimą.
Norėdami gauti daugiau informacijos, apsilankykite oficialioje svetainėjewww.hlcryo.com, arba el. Paštuinfo@cdholy.com.
Pašto laikas: 2012 m. Gegužė-06
