Molekulinių pluoštų epitaksijos (MBE) santrauka
Molekulinių pluoštų epitaksijos (MBE) technologija buvo sukurta šeštajame dešimtmetyje, siekiant paruošti puslaidininkines plonas plėveles naudojant vakuuminio garinimo technologiją. Tobulėjant itin aukšto vakuumo technologijai, technologijos taikymas išsiplėtė į puslaidininkių mokslo sritį.
Puslaidininkinių medžiagų tyrimų motyvacija yra naujų prietaisų, kurie gali pagerinti sistemos našumą, poreikis. Savo ruožtu, naujos medžiagų technologijos gali sukurti naują įrangą ir naujas technologijas. Molekulinių pluoštų epitaksija (MBE) yra aukšto vakuumo technologija epitaksiniam sluoksniui (dažniausiai puslaidininkių) auginti. Joje naudojamas šaltinio atomų arba molekulių šilumos pluoštas, veikiantis monokristalio pagrindą. Proceso itin aukšto vakuumo charakteristikos leidžia metalizuoti ir auginti izoliacines medžiagas ant naujai išaugintų puslaidininkių paviršių, todėl gaunamos neužterštos sąsajos.
MBE technologija
Molekulinių pluoštų epitaksija buvo atlikta aukštame vakuume arba ultraaukštame vakuume (1 x 10-8Pa) aplinka. Svarbiausias molekulinių pluoštų epitaksijos aspektas yra mažas nusodinimo greitis, kuris paprastai leidžia plėvelei epitaksiškai augti mažesniu nei 3000 nm per valandą greičiu. Tokiam mažam nusodinimo greičiui reikalingas pakankamai didelis vakuumas, kad būtų pasiektas toks pat švaros lygis, kaip ir naudojant kitus nusodinimo metodus.
Kad būtų pasiektas aukščiau aprašytas itin aukštas vakuumas, MBE įrenginys (Knudseno celė) turi aušinimo sluoksnį, o augimo kameros itin aukšto vakuumo aplinka turi būti palaikoma naudojant skysto azoto cirkuliacijos sistemą. Skystas azotas atvėsina įrenginio vidinę temperatūrą iki 77 kelvinų (−196 °C). Žemos temperatūros aplinka gali dar labiau sumažinti priemaišų kiekį vakuume ir sudaryti geresnes sąlygas plonų plėvelių nusodinimui. Todėl MBE įrangai reikalinga speciali skysto azoto aušinimo cirkuliacijos sistema, kad būtų užtikrintas nuolatinis ir stabilus -196 °C skysto azoto tiekimas.
Skysto azoto aušinimo cirkuliacijos sistema
Vakuuminė skysto azoto aušinimo cirkuliacijos sistema daugiausia apima,
● kriogeninis bakas
● pagrindinis ir atšakinis vakuuminis vamzdis / vakuuminė žarna
● MBE specialus fazių separatorius ir vakuuminiu apvalkalu dengtas išmetimo vamzdis
● įvairūs vakuuminiai vožtuvai
● dujų ir skysčio barjeras
● vakuuminis filtras su apvalkalu
● dinaminė vakuuminio siurblio sistema
● Išankstinio aušinimo ir prapūtimo pakartotinio pašildymo sistema
„HL Cryogenic Equipment Company“ pastebėjo MBE skysto azoto aušinimo sistemos poreikį ir sukūrė techninį pagrindą, kad sėkmingai sukurtų specialią MBE skysto azoto aušinimo sistemą MBE technologijai bei visą vakuuminės izoliacijos rinkinį.edvamzdynų sistema, kuri buvo naudojama daugelyje įmonių, universitetų ir mokslinių tyrimų institutų.
HL kriogeninė įranga
„HL Cryogenic Equipment“, įkurta 1992 m., yra prekės ženklas, susijęs su Kinijos įmone „Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company“. „HL Cryogenic Equipment“ yra įsipareigojusi projektuoti ir gaminti aukšto vakuumo izoliuotas kriogenines vamzdynų sistemas ir susijusią pagalbinę įrangą.
Daugiau informacijos rasite oficialioje svetainėjewww.hlcryo.com, arba el. paštuinfo@cdholy.com.
Įrašo laikas: 2021 m. gegužės 6 d.
