Molekulinio pluošto epitaksijos (MBE) aprašymas
Molekulinio pluošto epitaksijos (MBE) technologija buvo sukurta šeštajame dešimtmetyje puslaidininkinių plonasluoksnių medžiagų paruošimui naudojant vakuuminio garinimo technologiją. Tobulėjant itin aukšto vakuumo technologijoms, technologijos pritaikymas buvo išplėstas ir puslaidininkių mokslo srityje.
Puslaidininkinių medžiagų tyrimų motyvas yra naujų prietaisų, kurie gali pagerinti sistemos veikimą, paklausa. Savo ruožtu naujos medžiagų technologijos gali sukurti naują įrangą ir naują technologiją. Molekulinio pluošto epitaksija (MBE) yra didelio vakuumo technologija, skirta epitaksinio sluoksnio (dažniausiai puslaidininkio) augimui. Jis naudoja šaltinio atomų ar molekulių šilumos pluoštą, paveikiantį monokristalinį substratą. Itin aukšto vakuumo proceso charakteristikos leidžia in situ metalizuoti ir izoliacines medžiagas augti ant naujai išaugintų puslaidininkių paviršių, todėl sąsajos nėra užterštos.
MBE technologija
Molekulinio pluošto epitaksija buvo atlikta dideliame vakuume arba itin aukštame vakuume (1 x 10-8Pa) aplinka. Svarbiausias molekulinio pluošto epitaksijos aspektas yra mažas nusėdimo greitis, kuris paprastai leidžia plėvelei epitaksiškai augti mažesniu nei 3000 nm per valandą greičiu. Tokiam mažam nusodinimo greičiui reikalingas pakankamai didelis vakuumas, kad būtų pasiektas toks pat švaros lygis, kaip ir naudojant kitus nusodinimo būdus.
Kad atitiktų aukščiau aprašytą itin aukštą vakuumą, MBE įtaisas (Knudsen cell) turi aušinimo sluoksnį, o ypač aukšto vakuumo aplinka augimo kameroje turi būti palaikoma naudojant skysto azoto cirkuliacijos sistemą. Skystas azotas atvėsina įrenginio vidinę temperatūrą iki 77 Kelvinų (–196 °C). Žemos temperatūros aplinka gali dar labiau sumažinti priemaišų kiekį vakuume ir sudaryti geresnes sąlygas plonoms plėvelėms nusodinti. Todėl MBE įrangai reikalinga speciali skysto azoto aušinimo cirkuliacinė sistema, kuri užtikrintų nuolatinį ir pastovų -196 °C skystojo azoto tiekimą.
Skystojo azoto aušinimo cirkuliacinė sistema
Vakuuminė skysto azoto aušinimo cirkuliacinė sistema daugiausia apima:
● kriogeninis bakas
● pagrindinis ir atšakos vakuuminis vamzdis / žarna su vakuuminiu apvalkalu
● MBE specialus fazių separatorius ir vakuuminis išmetimo vamzdis su apvalkalu
● įvairūs vožtuvai su vakuuminiu apvalkalu
● dujų ir skysčių barjeras
● vakuuminis filtras su apvalkalu
● dinaminė vakuuminio siurblio sistema
● Pirminio aušinimo ir prapūtimo pakaitinimo sistema
HL Cryogenic Equipment Company pastebėjo MBE skysto azoto aušinimo sistemos poreikį, sutvarkė techninį pagrindą, kad būtų sėkmingai sukurta speciali MBE skysto azoto aušinimo sistema MBE technologijai ir pilnas vakuuminės izoliacijos komplektas.edvamzdynų sistema, kuri buvo naudojama daugelyje įmonių, universitetų ir mokslinių tyrimų institutų.
HL kriogeninė įranga
HL Cryogenic Equipment, įkurta 1992 m., yra prekės ženklas, priklausantis Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company Kinijoje. „HL Cryogenic Equipment“ įsipareigoja projektuoti ir gaminti aukšto vakuumo izoliuotą kriogeninių vamzdynų sistemą ir susijusią pagalbinę įrangą.
Norėdami gauti daugiau informacijos, apsilankykite oficialioje svetainėjewww.hlcryo.com, arba el. paštuinfo@cdholy.com.
Paskelbimo laikas: 2021-06-06
