Skysto azoto aušinimo sistemos plačiai naudojamos puslaidininkių ir lustų pramonėje, įskaitant procesą,
- Molekulinių pluoštų epitaksijos (MBE) technologija
- Lusto bandymas po COB paketo
Susiję produktai
Vakuuminiu būdu izoliuotų vamzdžių serija
Vakuumiškai izoliuotų lanksčių žarnų serija
Dinaminė vakuuminio siurblio sistema
Vakuuminiu būdu izoliuotų fazių separatorių serija
Vakuuminiu būdu izoliuotų vožtuvų serija
Vamzdynų sistemos palaikymo įranga
MOLEKULINIŲ SPINDULIŲ EPITAKSIJA
Molekulinių pluoštų epitaksijos (MBE) technologija buvo sukurta šeštajame dešimtmetyje, siekiant paruošti puslaidininkines plonas plėveles naudojant vakuuminio garinimo technologiją. Tobulėjant itin aukšto vakuumo technologijai, technologijos taikymas išsiplėtė į puslaidininkių mokslo sritį.
HL pastebėjo MBE skysto azoto aušinimo sistemos poreikį ir sukūrė techninį pagrindą, kad sėkmingai sukurtų specialią MBE skysto azoto aušinimo sistemą MBE technologijai bei visą vakuuminiu būdu izoliuotų vamzdynų sistemos komplektą, kuris buvo naudojamas daugelyje įmonių, universitetų ir mokslinių tyrimų institutų.
Dažniausios puslaidininkių ir lustų pramonės problemos yra šios:
- Skysto azoto slėgis terminalo (MBE) įrangoje. Kaip išvengti slėgio perkrovos, galinčios pažeisti terminalo (MBE) įrangą.
- Keli kriogeninio skysčio įleidimo ir išleidimo valdikliai
- Skysto azoto temperatūra terminalo įrangoje
- Protingas kriogeninių dujų išmetimo kiekis
- (Automatinis) pagrindinių ir atšakų linijų perjungimas
- VIP slėgio reguliavimas (sumažinimas) ir stabilumas
- Galimų priemaišų ir ledo likučių valymas iš bako
- Terminalo skysčių įrangos užpildymo laikas
- Vamzdynų išankstinis aušinimas
- Skysčių varža VIP sistemoje
- Skysto azoto nuostolių kontrolė sistemos pertraukiamo veikimo metu
HL vakuuminiu būdu izoliuoti vamzdžiai (VIP) yra pagaminti pagal ASME B31.3 slėginių vamzdynų kodeksą kaip standartą. Inžinerinė patirtis ir kokybės kontrolės gebėjimai užtikrina kliento gamyklos efektyvumą ir ekonomiškumą.
SPRENDIMAI
„HL Cryogenic Equipment“ klientams tiekia vakuuminiu būdu izoliuotas vamzdynų sistemas, atitinkančias puslaidininkių ir lustų pramonės reikalavimus ir sąlygas:
1. Kokybės valdymo sistema: ASME B31.3 slėginių vamzdynų kodas.
2. Specialus fazių separatorius su keliais kriogeninio skysčio įleidimo ir išleidimo angomis bei automatinio valdymo funkcija atitinka dujų emisijos, perdirbto skysto azoto ir skysto azoto temperatūros reikalavimus.
3. Tinkamas ir savalaikis išmetimo projektas užtikrina, kad terminalo įranga visada veiktų neviršydama numatytos slėgio vertės.
4. Dujų ir skysčio barjeras įrengiamas vertikaliame VI vamzdyje, VI vamzdyno gale. Dujų ir skysčio barjeras, naudodamas dujų sandarinimo principą, blokuoja šilumą iš VI vamzdyno galo į VI vamzdyną ir efektyviai sumažina skysto azoto nuostolius sistemos veikimo pertraukų ir pertraukų metu.
5. VI vamzdynai, valdomi vakuuminiu būdu izoliuotų vožtuvų (VIV) serijos: įskaitant vakuuminiu būdu izoliuotą (pneumatinį) uždaromąjį vožtuvą, vakuuminiu būdu izoliuotą atbulinį vožtuvą, vakuuminiu būdu izoliuotą reguliavimo vožtuvą ir kt. Įvairūs VIV tipai gali būti moduliškai jungiami, kad būtų galima valdyti VIP pagal poreikį. VIV yra integruotas su VIP gamykliniais komponentais gamintojo viduje, be izoliacijos vietoje. VIV sandarinimo mazgą galima lengvai pakeisti. (HL priima klientų nurodytą kriogeninio vožtuvo prekės ženklą ir tada gamina vakuuminiu būdu izoliuotus vožtuvus. Kai kurių prekių ženklų ir modelių vožtuvai gali būti nepajėgūs pagaminti į vakuuminiu būdu izoliuotus vožtuvus.)
6. Švara, jei yra papildomų reikalavimų vidinio vamzdžio paviršiaus švarai. Klientams rekomenduojama rinktis BA arba EP nerūdijančio plieno vamzdžius kaip VIP vidinius vamzdžius, kad dar labiau sumažintų nerūdijančio plieno išsiliejimą.
7. Vakuuminis izoliuotas filtras: išvalykite iš bako galimas priemaišas ir ledo likučius.
8. Po kelių dienų ar ilgesnio išjungimo ar techninės priežiūros labai svarbu iš anksto atvėsinti VI vamzdynus ir galinę įrangą prieš įleidžiant kriogeninį skystį, kad nesusidarytų ledo šlakas po to, kai kriogeninis skystis tiesiogiai patenka į VI vamzdynus ir galinę įrangą. Projektuojant reikėtų atsižvelgti į išankstinio aušinimo funkciją. Tai geriau apsaugo galinę įrangą ir VI vamzdynų pagalbinę įrangą, pvz., vožtuvus.
9. Tinka tiek dinaminėms, tiek statinėms vakuuminiu būdu izoliuotoms (lanksčioms) vamzdynų sistemoms.
10. Dinaminė vakuuminė (lanksčioji) vamzdynų sistema: susideda iš VI lanksčių žarnų ir (arba) VI vamzdžių, jungiamųjų žarnų, vakuuminės izoliuotos vožtuvų sistemos, fazių separatorių ir dinaminės vakuuminių siurblių sistemos (įskaitant vakuuminius siurblius, solenoidinius vožtuvus, vakuumo matuoklius ir kt.). Vienos VI lanksčios žarnos ilgį galima pritaikyti pagal naudotojo reikalavimus.
11. Įvairūs jungčių tipai: galima rinktis vakuuminį bajoneto tipo (VBC) ir suvirintą jungtį. VBC tipui nereikia izoliacijos vietoje.
