Skystųjų azoto aušinimo sistemos yra plačiai naudojamos puslaidininkių ir lustų pramonėje, įskaitant, procesą,
- Molekulinės pluošto epitaksijos technologija (MBE)
- Lusto testas po burbuolių paketo
Susiję produktai
Vakuuminė izoliuotų vamzdžių serija
Vakuuminė izoliuota lanksčių žarnų serija
Dinaminė vakuuminės siurblio sistema
Vakuuminė izoliuotų fazių separatorių serija
Vakuuminis izoliuotas vožtuvų serija
Vamzdynų sistemos palaikymo įranga
Molekulinės pluošto epitaksija
Šeštajame dešimtmetyje buvo sukurta molekulinės pluošto epitaksijos (MBE) technologija, siekiant paruošti plonos plonos plėvelės medžiagas, naudojant vakuuminio garinimo technologiją. Tobulinant ypač aukštos vakuuminės technologijos, technologijos pritaikymas buvo išplėstas puslaidininkių mokslo sričiai.
HL pastebėjo MBE skysto azoto aušinimo sistemos paklausą, organizavo techninį stuburą, kad sėkmingai sukurtų specialią MBE skysčio azoto valdymo sistemą, skirtą MBE technologijoms, ir išsamų vakuuminio izoliuotos vamzdynų sistemos rinkinį, kuris buvo naudojamas daugelyje įmonių, universitetų ir tyrimų institutų. .
Įprastos puslaidininkių ir lustų pramonės problemos apima,
- Skysčio azoto slėgis į terminalo (MBE) įrangą. Užkirskite kelią slėgio perkrovai iš žalingos terminalo (MBE) įrangos.
- Keli kriogeninio skysčio įleidimo ir išleidimo angos valdikliai
- Skysto azoto temperatūra į galinę įrangą
- Pagrįstas kiekis kriogeninių dujų išmetimo
- (Automatinis) Pagrindinių ir šakų linijų perjungimas
- Slėgio reguliavimas (mažinimas) ir VIP stabilumas
- Galimų priemaišų ir ledo likučių valymas iš rezervuaro
- Terminalo skysčio įrangos užpildymo laikas
- Vamzdyno išankstinis aušinimas
- Skysčio atsparumas VIP sistemoje
- Kontroliuojamas skysto azoto praradimas nepertraukiamo sistemos aptarnavimo metu
HL vakuuminis izoliuotas vamzdis (VIP) yra pastatytas pagal ASME B31.3 slėgio vamzdynų kodą kaip standartą. Inžinerinė patirtis ir kokybės kontrolės gebėjimas užtikrinti kliento gamyklos efektyvumą ir ekonomiškumą.
Sprendimai
HL kriogeninė įranga suteikia klientams vakuuminę izoliuotą vamzdynų sistemą, kad atitiktų puslaidininkių ir mikroschemų pramonės reikalavimus ir sąlygas:
1. Kvalifikacijos valdymo sistema: ASME B31.3 Slėgio vamzdynų kodas.
2. Specialus fazių separatorius su daugybe kriogeninio skysčio įleidimo angos ir išleidimo angos su automatine valdymo funkcija atitinka dujų išmetimo, perdirbto skysto azoto ir skysto azoto temperatūros poreikį.
3.Ateklūnos ir savalaikis išmetimo dizainas užtikrina, kad terminalo įranga visada veiktų pagal suprojektuotą slėgio vertę.
4. Dujų ir skysčių barjeras dedamas į vertikalų VI vamzdį VI vamzdyno gale. Dujų ir skysčių barjeras naudoja dujų sandariklio principą, kad užkirstų kelią šilumai nuo VI vamzdyno galo į VI vamzdyną ir veiksmingai sumažina skysto azoto praradimą nepertraukiamo ir pertraukiamo sistemos tarnyboje.
5.Vi vamzdynai, kontroliuojami vakuuminio izoliuoto vožtuvo (VIV) serijos: įskaitant vakuuminį izoliuotą (pneumatinį) uždarymo vožtuvą, vakuuminį izoliuotą patikrinimo vožtuvą, vakuuminį izoliuotą reguliavimo vožtuvą ir kt. būtinas. VIV yra integruotas su VIP surenkamuoju gamintoju, be apdorojimo vietoje. VIV antspaudą galima lengvai pakeisti. )
6.Cleisty, jei yra papildomų reikalavimų vidiniam vamzdžių paviršiaus valymui. Siūloma, kad klientai pasirinktų BA arba EP nerūdijančio plieno vamzdžius kaip VIP vidinius vamzdžius, kad dar labiau sumažintų nerūdijančio plieno išsiliejimą.
7. Vacuum izoliuotas filtras: Išvalykite galimas priemaišas ir ledo likučius iš rezervuaro.
8. Po kelių dienų ar ilgesnio išjungimo ar priežiūros, prieš įvedant kriogeninį skystį, labai reikia iš anksto nutildyti VI vamzdynus ir terminalo įrangą, kad būtų išvengta ledo šlako, kai kriogeninis skystis tiesiogiai patenka į VI vamzdynų ir terminalo įrangą. Projektuojant reikėtų atsižvelgti į išankstinio aušinimo funkciją. Tai suteikia geresnę gnybtų įrangos ir VI vamzdynų atraminės įrangos, tokios kaip vožtuvai, apsaugą.
9. Dinaminės ir statinio vakuuminės izoliuotos (lanksčios) vamzdynų sistemos kostiumas.
10.dinaminis vakuuminis izoliuota (lanksti) vamzdynų sistema: susideda iš VI lanksčių žarnų ir (arba) vi vamzdžių, šuolinių žarnų, vakuuminės izoliuotos vožtuvų sistemos, fazių separatorių ir dinaminės vakuuminės siurblių sistemos (įskaitant vakuuminius siurblius, solenoidinius vožtuvus ir vakuuminius matuoklius ir kt. ). Vienos VI lanksčios žarnos ilgį galima pritaikyti pagal vartotojo reikalavimus.
11. Galima pasirinkti įvairius ryšio tipus: Vacuum bayonet Connection (VBC) tipas ir suvirintas ryšys. VBC tipui nereikia apdoroti izoliuoto vietos.
