Skysto azoto aušinimo sistemos yra plačiai naudojamos puslaidininkių ir lustų pramonėje, įskaitant
- Molekulinio pluošto epitaksijos (MBE) technologija
- Lusto testas po COB paketo
Susiję produktai
Vakuuminis izoliuotų vamzdžių serija
Vakuuminis izoliuotas lanksčių žarnų serija
Dinaminė vakuuminio siurblio sistema
Vakuuminis izoliuotas fazių separatorius
Vakuuminis izoliuotų vožtuvų serija
Vamzdynų sistemos palaikymo įranga
MOLEKULINĖS SPINDULIO EPITAKSIJA
Molekulinio pluošto epitaksijos (MBE) technologija buvo sukurta šeštajame dešimtmetyje puslaidininkinių plonasluoksnių medžiagų paruošimui naudojant vakuuminio garinimo technologiją. Tobulėjant itin aukšto vakuumo technologijoms, technologijos pritaikymas buvo išplėstas ir puslaidininkių mokslo srityje.
HL pastebėjo MBE skysto azoto aušinimo sistemos poreikį, suorganizavo techninį pagrindą, kad būtų sėkmingai sukurta speciali MBE skysto azoto aušinimo sistema MBE technologijai ir pilnas vakuuminės izoliacijos vamzdynų sistemos komplektas, kuris buvo naudojamas daugelyje įmonių, universitetų ir mokslinių tyrimų institutų. .
Bendros puslaidininkių ir lustų pramonės problemos yra šios:
- Skysto azoto slėgis į terminalo (MBE) įrangą. Saugokite, kad slėgio perkrova nepažeistų terminalo (MBE) įrangos.
- Keli kriogeninio skysčio įleidimo ir išleidimo angos valdikliai
- Skysto azoto temperatūra į terminalo įrangą
- Pagrįstas kriogeninių dujų kiekis
- (Automatinis) pagrindinių ir atšakų linijų perjungimas
- Slėgio reguliavimas (sumažinimas) ir VIP stabilumas
- Galimų nešvarumų ir ledo likučių valymas iš bako
- Terminalo skystosios įrangos užpildymo laikas
- Dujotiekio išankstinis aušinimas
- Atsparumas skysčiams VIP sistemoje
- Kontroliuokite skystojo azoto praradimą nepertraukiamo sistemos aptarnavimo metu
HL vakuuminis izoliuotas vamzdis (VIP) yra sukurtas pagal ASME B31.3 slėgio vamzdžių kodą kaip standartas. Inžinerinė patirtis ir kokybės kontrolės gebėjimas užtikrinti kliento gamyklos efektyvumą ir ekonomiškumą.
SPRENDIMAI
„HL Cryogenic Equipment“ klientams teikia vakuumo izoliuotų vamzdynų sistemą, kad atitiktų puslaidininkių ir lustų pramonės reikalavimus ir sąlygas:
1.Kokybės valdymo sistema: ASME B31.3 slėgio vamzdynų kodas.
2. Specialus fazių separatorius su daugybe kriogeninio skysčio įleidimo ir išleidimo angos su automatinio valdymo funkcija atitinka dujų išmetimo, perdirbto skysto azoto ir skysto azoto temperatūros reikalavimus.
3. Tinkama ir savalaikė išmetimo konstrukcija užtikrina, kad galinė įranga visada veiktų pagal suprojektuotą slėgio vertę.
4. Dujų ir skysčių barjeras dedamas į vertikalią VI vamzdį VI dujotiekio gale. Dujų ir skysčio barjeras naudoja dujų sandarinimo principą, kad blokuotų šilumą nuo VI dujotiekio galo į VI vamzdyną ir veiksmingai sumažintų skysto azoto praradimą per nepertraukiamą ir su pertrūkiais veikiančią sistemą.
5.VI Vamzdynai, valdomi vakuuminiu izoliuotu vožtuvu (VIV) serija: įskaitant vakuumu izoliuotą (pneumatinį) uždaromąjį vožtuvą, vakuumo izoliuotą atbulinį vožtuvą, vakuumu izoliuotą reguliavimo vožtuvą ir kt. Įvairių tipų VIV galima sujungti moduliniais, kad būtų galima valdyti VIP kaip reikalaujama. VIV yra integruotas su VIP surenkamumu gamintojo, be izoliuoto apdorojimo vietoje. VIV sandarinimo bloką galima lengvai pakeisti. (HL priima klientų nurodytą kriogeninio vožtuvo prekės ženklą, o tada gamina HL vakuuminius vožtuvus. Kai kurių prekių ženklų ir modelių vožtuvų gali būti neįmanoma pagaminti į vakuuminę izoliaciją.)
6.Švara, jei yra papildomų vamzdžio paviršiaus švarumo reikalavimų. Siūloma klientams pasirinkti BA arba EP nerūdijančio plieno vamzdžius kaip VIP vidinius vamzdžius, kad dar labiau sumažintų nerūdijančio plieno išsiliejimą.
7. Vakuuminis izoliuotas filtras: iš bako nuvalykite galimas nešvarumus ir ledo likučius.
8. Po kelių dienų ar ilgesnio išjungimo ar techninės priežiūros VI vamzdyną ir galinius įrenginius labai būtina iš anksto atvėsinti prieš patenkant į kriogeninį skystį, kad kriogeniniam skysčiui tiesiogiai patekus į VI vamzdyną ir galinius įrenginius, nesusidarytų ledo šlako. Projektuojant reikia atsižvelgti į išankstinio aušinimo funkciją. Jis užtikrina geresnę galinių įrenginių ir VI vamzdynų pagalbinės įrangos, pvz., vožtuvų, apsaugą.
9. Tinka tiek dinaminei, tiek statinei vakuumo izoliacijai (lanksčiai) vamzdynų sistemai.
10. Dinaminė vakuumu izoliuota (lanksti) vamzdynų sistema: sudaryta iš VI lanksčių žarnų ir (arba) VI vamzdžio, jungiamųjų žarnų, vakuumo izoliuotų vožtuvų sistemos, fazių separatorių ir dinaminio vakuuminio siurblio sistemos (įskaitant vakuuminius siurblius, solenoidinius vožtuvus ir vakuumo matuoklius ir kt.). ). Vienos VI lanksčios žarnos ilgį galima pritaikyti pagal vartotojo reikalavimus.
11. Įvairūs jungčių tipai: Galima pasirinkti vakuuminio bajoneto jungties (VBC) tipą ir suvirintą jungtį. VBC tipo nereikia izoliuoti vietoje.
