Net ir nedideli temperatūros, slėgio ar grynumo pokyčiai gali turėti įtakos puslaidininkių gamybos išeigai. Kiekvieną kriogeninio perdavimo sistemą „HL Cryogenics“ projektuojame taip, kad būtų užtikrintas pastovus terminis našumas ir visiška švara. Tai ypač svarbu tokiems svarbiems įrankiams kaip ėsdinimas, litografija ir plokštelių aušinimo sistemos.
Puslaidininkių gamykloms Rytų Azijoje reikia kažko kitokio nei įprastoms pramoninių dujų reikmėms:
Labai maža vibracija ir slėgio pokyčiai
Nėra užteršimo rizikos
Bėga visą laiką, 24 valandas per parą, 7 dienas per savaitę
Dėl to sistemos projektavimas yra daug griežtesnis nei daugumos SGD infrastruktūros ar birių pramoninių dujų jėgainių.
Tipinę sistemą sudaro:
- Mini bakasarba birių atliekų saugojimas kaip kriogeninis šaltinis
- Pagrindinis paskirstymas perVakuuminiu būdu izoliuotas vamzdis
- Lankstūs sujungimai naudojantVakuuminė izoliuota lanksti žarna
- Valdymo komponentai, tokie kaipVakuuminiu būdu izoliuotas vožtuvas
- Fazių valdymas perVakuuminiu būdu izoliuotas fazių separatorius
Kiekvienas komponentas turi būti suprojektuotas kaip visiškai integruotos sistemos dalis, siekiant užtikrinti stabilų veikimą.
Turinys
1. Inžinerinis principas: šilumos nuotėkio mažinimas
2. Vakuumo stabilumas ir ilgalaikis veikimas
3. Slėgio projektavimas ir srauto stabilumas
4. Atitiktis tarptautiniams standartams
●Inžinerinis principas: šilumos nuotėkio mažinimas
Pagrindinis bet kurios skysto azoto sistemos tikslas yra neleisti šilumai patekti į vidų. Šiluma juda per:
Laidumas per vamzdžių atramas ir medžiagas
Spinduliuotė tarp vidinių ir išorinių vamzdžių sienelių
Dujų konvekcija, likusi vakuuminėje erdvėje
MūsųVakuuminiu būdu izoliuotas vamzdis„HL Cryogenics“ sistemos sukurtos taip, kad sukurtų labai aukštą vakuumo lygį (nuo 10⁻⁴ iki 10⁻⁶ mbar), o tai labai sulėtina šiuos šilumos perdavimo būdus.
Galutinis rezultatas yra:
Mažesnis išgaravimo greitis
Stabilus slėgio lygis
Didesnis visos sistemos efektyvumas
Vožtuvas su vakuumine izoliacija
TheVakuuminiu būdu izoliuotas vožtuvasužtikrina, kad:
Į valdymo taškus patenka mažai šilumos
Patikimas atskyrimas labai šaltomis sąlygomis
Ilgas tarnavimo laikas su mažesne priežiūra
Eksploatacijos ir techninės priežiūros ciklų metu šie vožtuvai yra būtini, kad sistema būtų geros būklės.
●Vakuumo stabilumas ir ilgalaikis veikimas
Sujungdami mūsųDinaminė vakuuminio siurblio sistema, Vakuuminiu būdu izoliuotas vožtuvasirFazių separatorius, mes siūlome jums įrangą, kuri efektyviai perkelia skystą helį ir sumažina išlaidas. MūsųMini bakasirLanksčios žarnosLeiskite mums tiksliai atlikti tiek mobilius, tiek stacionarius darbus.
Ilgalaikis vakuumo palaikymas yra didelė kriogeninių sistemų problema. Mikronutekėjimai ir medžiagų išsiskyrimas sukelia tradicinių statinių vakuuminių sistemų gedimą.
MūsųDinaminė vakuuminio siurblio sistematai ištaiso taip:
Visada stebėkite vakuumo lygį
Reguliariai atkuriamos vakuumo sąlygos
Sustabdyti našumo blogėjimą
Tai užtikrina, kad vakuuminė izoliacija veiktų vienodai ilgą laiką, o tai svarbu puslaidininkių gamykloms, kurioms reikalingas patikimumas, kad jos neišsijungtų daugelį metų.
Fazių separatoriussu vakuumine izoliacija
Vakuuminė izoliacijaFazių separatoriusyra labai svarbus dėl:
Garų išgavimas iš skysto azoto
Dujų patekimo į jautrią įrangą sustabdymas
Palaikant stabilų slėgį ir temperatūrą pasroviui
Tai ypač svarbu puslaidininkiniams įrankiams, kur net maži dujų burbuliukai gali sutrikdyti procesus.
Lanksti žarnasu vakuumine izoliacija
Vakuuminė izoliacijaLanksti žarnasuteikia jums:
Mechaninis lankstumas jungiamosioms įrangoms
Izoliuojančios vibracijos
Išlaikytos izoliacijos savybės
Tinkamai suprojektuotos kriogeninės žarnų sistemos apsaugo standžius vamzdynus nuo įtempimo ir padidina jų patikimumą atliekant didelio tikslumo darbus.
●Slėgio projektavimas ir srauto stabilumas bei medžiagų parinkimas ir švara
Puslaidininkių taikymuose slėgio stabilizavimas yra toks pat svarbus, kaip ir temperatūros stabilizavimas. Kai kurie įprasti sistemos parametrai yra šie:
Darbinis slėgis: 6–10 barų
Slėgis projektuojant: nuo 16 iki 25 barų
Srauto sąlygos: labai skirtingos, priklausomai nuo to, kiek įrankio reikia
Slėgio pokyčiai gali sukelti:
Fazės nestabilumas (būsenos pasikeitimas iš skystos į dujinę)
Neatitikimas procese
Įranga neveikia
Norėdami tai ištaisyti, kruopščiai išmatuojame kriogeninio vamzdžių tinklo dydį ir pridedameVakuuminiu būdu izoliuotas fazių separatoriusvienetai, skirti palaikyti stabilų srautą ir skystosios fazės tiekimą.
Tinkamų medžiagų pasirinkimas yra labai svarbus tiek našumui, tiek švarai palaikyti. Paprastai naudojame:
Vidiniai vamzdžiai pagaminti iš nerūdijančio plieno (pavyzdžiui, SS304/316L)
Mažo šilumos laidumo medžiagos atramoms
Daugiasluoksnė izoliacija (MLI) su dideliu atspindžiu
Visos HL Cryogenics sistemos yra griežtai valomos, kad atitiktų puslaidininkių klasės grynumo standartus, taip pašalinant dalelių užteršimo riziką.
●Atitiktis tarptautiniams standartams
Siekdami užtikrinti pasaulinį pripažinimą ir pasitikėjimą pirkimais, sistemas kuriame laikydamiesi:
- ASMEB31.3
- DIN EN 13480
- Kriogeninės įrangos ISO standartai
Tai ypač svarbu projektams, skirtiems šioms sritims:
- Puslaidininkių įrenginiai Rytų Azijoje
- Pramoninių dujų gamyklos Europoje
- Aukštųjų technologijų gamybos centrai Pietryčių Azijoje
Paskutinio darbo Taivane metu elektronikos gamintojui įrengėme pilno masto skysto azoto sistemą, naudodamiVakuuminiu būdu izoliuotas vamzdis, Vakuuminė izoliuota lanksti žarna,irDinaminė vakuuminio siurblio sistema.
Pagrindinės problemos, kurias reikėjo spręsti, buvo šios:
Tolimas tiekimo maršrutas (> 500 metrų ilgio)
Stabilaus slėgio poreikis (±0,2 baro paklaida)
Nepertraukiamas veikimas
Mūsų sistemos pateikti rezultatai:
Daugiau nei 95 % mažesni šilumos nuostoliai, palyginti su tradiciniais vamzdynais
Skysčio tekėjimas be fazės pokyčio
Nuolatinis veikimas 18 mėnesių palaikomomis vakuumo sąlygomis
●DUK
Nuo 1992 m. „HL Cryogenics“ specializuojasi aukšto vakuumo izoliuotų kriogeninių vamzdynų sistemų ir susijusios pagalbinės įrangos, pritaikytos įvairiems klientų poreikiams, projektavime ir gamyboje. Turime ASME, CE ir ISO 9001 sertifikatus ir tiekiame produktus bei teikiame paslaugas daugeliui žinomų tarptautinių įmonių. Mūsų komanda yra nuoširdi, atsakinga ir įsipareigojusi siekti meistriškumo kiekviename mūsų vykdomame projekte.
Vakuuminiu būdu izoliuotas / apvalkalu dengtas vamzdis
Vakuuminė izoliuota / apvalkalu dengta lanksti žarna
Fazių separatorius / garų išleidimo anga
Vakuuminis izoliuotas (pneumatinis) uždarymo vožtuvas
Vakuuminis izoliuotas atbulinis vožtuvas
Vakuuminis izoliuotas reguliavimo vožtuvas
Vakuumiškai izoliuotos jungtys šaldymo dėžėms ir konteineriams
MBE skysto azoto aušinimo sistemos
Kita su VI vamzdynais susijusi kriogeninė pagalbinė įranga, įskaitant, bet neapsiribojant, apsauginių vožtuvų grupes, skysčio lygio matuoklius, termometrus, slėgio matuoklius, vakuumo matuoklius ir elektrines valdymo dėžes.
Mielai priimame bet kokio dydžio užsakymus – nuo atskirų vienetų iki didelių projektų.
„HL Cryogenics“ vakuuminiu būdu izoliuoti vamzdžiai (VIP) gaminami pagal ASME B31.3 slėginių vamzdynų kodeksą kaip mūsų standartą.
„HL Cryogenics“ yra specializuota vakuuminės įrangos gamintoja, visas žaliavas tiekianti tik iš kvalifikuotų tiekėjų. Klientų pageidavimu galime įsigyti medžiagų, kurios atitinka konkrečius standartus ir reikalavimus. Mūsų tipiškas medžiagų pasirinkimas apima ASTM/ASME 300 nerūdijantį plieną su paviršiaus apdorojimu, pavyzdžiui, rūgštiniu ėsdinimu, mechaniniu poliravimu, atkaitinimu ir elektropoliravimu.
Vidinio vamzdžio dydis ir projektinis slėgis nustatomi pagal kliento reikalavimus. Išorinio vamzdžio dydis atitinka HL Cryogenics standartines specifikacijas, nebent klientas nurodytų kitaip.
Palyginti su įprastine vamzdynų izoliacija, statinė vakuuminė sistema užtikrina geresnę šilumos izoliaciją, sumažindama klientų patiriamus dujofikacijos nuostolius. Ji taip pat yra ekonomiškesnė nei dinaminė VI sistema, sumažindama pradines projektams reikalingas investicijas.
●Susiję įrašai
Įrašo laikas: 2026 m. balandžio 13 d.
