„Chip MBE“ projektas baigtas per pastaruosius metus

Technologija

Molekulinės pluošto epitaksija arba MBE yra nauja technika, skirta auginti aukštos kokybės plonas kristalų plėveles ant kristalų substratų. Ypač aukšto vakuumo sąlygomis, esant šildymo krosnyje, yra visų rūšių reikalingų komponentų ir generuoja garą per skylutes, susidariusias po kolimizuojančio pluošto atominės ar molekulinės pluošto, tiesiogiai įpurškiant į tinkamą vieno kristalinio substrato temperatūrą, kontroliuojant molekulinę pluoštą iki molekulinės pluošto iki molekulinės pluošto iki molekulinės pluošto iki į iki galo. Substrato skenavimas tuo pačiu metu gali padaryti molekules ar atomus kristalų išlyginimo sluoksniuose, kad sudarytų ploną plėvelę ant substrato „augimo“.

Norint įprastam MBE įrangos veikimui, reikia nuolat ir stabiliai gabenant į įrangos aušinimo kamerą ir stabiliai gabenamas didelis grynumas, žemas slėgis ir ypač švarus skystas azotas. Apskritai, rezervuaras, teikiantis skysto azoto, turi 0,3MPa iki 0,8MPa. Lichid azoto išėjimo slėgis -196 ℃ lengvai išgarinamas į azotą pernešiant vamzdyną. Kai skystas azotas, kurio dujų skysčio santykis yra apie 1: 700, dujotiekyje bus dujotiekio, jis užims didelį kiekį skysto azoto srauto ir sumažins normalų srautą skysto azoto vamzdyno gale. Be to, skysčio azoto laikymo rezervuare greičiausiai bus šiukšlės, kurios nebuvo išvalytos. Skysčio azoto vamzdyne šlapio oro egzistavimas taip pat sukels ledo šlako generavimą. Jei šios priemaišos bus išleidžiamos į įrangą, tai padarys nenuspėjamą įrangos žalą.

Todėl skystas azotas lauko laikymo rezervuare yra gabenamas į MBE įrangą be dulkių dirbtuvių, turinčių didelį efektyvumą, stabilumą ir švarą, o žemas slėgis, nėra azoto, be priemaišų, 24 valandas nepertraukiamos, tokia transportavimo valdymo sistema yra kvalifikuotas produktas.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Atitinkanti MBE įrangą

Nuo 2005 m. HL kriogeninė įranga (HL CRYO) optimizavo ir tobulino šią sistemą bei bendradarbiavo su tarptautiniais MBE įrangos gamintojais. „MBE“ įrangos gamintojai, įskaitant DCA, „Reber“, palaiko bendradarbiavimo ryšius su mūsų įmone. MBE įrangos gamintojai, įskaitant DCA ir Reber, bendradarbiavo daugybėje projektų.

„Riber SA“ yra pirmaujanti pasaulinė molekulinės pluošto epitaksijos (MBE) produktų tiekėja ir susijusios paslaugos sudėtiniams puslaidininkių tyrimams ir pramoninėms reikmėms. „Riber MBE“ įtaisas ant substrato gali įodinti labai plonus medžiagų sluoksnius su labai dideliu valdikliu. HL kriogeninės įrangos (HL CRYO) vakuuminė įranga yra aprūpinta „Riber SA“.

DCA yra pirmaujanti pasaulyje oksidas MBE. Nuo 1993 m. Buvo atliktas sistemingas oksidacijos metodų, antioksidantų substrato šildymo ir antioksidantų šaltinių vystymasis. Dėl šios priežasties daugelis pirmaujančių laboratorijų pasirinko DCA oksido technologiją. Sudėtinės puslaidininkių MBE sistemos naudojamos visame pasaulyje. HL kriogeninės įrangos (HL CRYO) ir kelių DCA modelių MBE įranga turi atitikimo patirtį daugelyje projektų, tokių kaip modelis P600, R450, SGC800 ir kt.

TCM (2)

Spektaklio lentelė

Šanchajaus techninės fizikos institutas, Kinijos mokslų akademija
11 -asis Kinijos elektronikos technologijų korporacijos institutas
Kinijos mokslų akademijos puslaidininkių institutas
Huawei
„Alibaba Damo“ akademija
„PowerTech Technology Inc.“
„Delta Electronics Inc.“
Suzhou Everbright fotonika

Pašto laikas: 2012 m. Gegužės 26 d

Palikite savo pranešimą