Per pastaruosius metus užbaigtas mikroschemos MBE projektas

Technologijos

Molekulinių pluoštų epitaksija arba MBE yra nauja technika, skirta aukštos kokybės plonoms kristalų plėvelėms auginti ant kristalų substratų. Itin aukšto vakuumo sąlygomis kaitinimo krosnelė aprūpinama visais reikalingais komponentais ir generuojamais garais, kurie per suformuotas skyles kolimuojant atominį arba molekulinį pluoštą tiesiogiai įpurškiami į reikiamą monokristalo substrato temperatūrą, kontroliuojant molekulinio pluošto judėjimą į substratą ir tuo pačiu metu skenuojant substratą, gali paskatinti molekules arba atomus kristalų lygiavimo sluoksniuose suformuoti ploną plėvelę ant substrato.

Normaliam MBE įrangos veikimui reikalingas didelio grynumo, žemo slėgio ir itin švarus skystas azotas, kuris nuolat ir stabiliai transportuojamas į įrangos aušinimo kamerą. Paprastai skysto azoto bako išėjimo slėgis yra nuo 0,3 MPa iki 0,8 MPa. Skystas azotas, kurio temperatūra -196 ℃, transportavimo vamzdynu metu lengvai išgaruoja į azotą. Kai skystas azotas, kurio dujų ir skysčio santykis yra apie 1:700, dujofikuojamas vamzdyne, jis užims didelę skysto azoto srauto erdvę ir sumažins įprastą srautą skysto azoto vamzdyno gale. Be to, skysto azoto kaupimo bake gali būti neišvalytų šiukšlių. Skysto azoto vamzdyne esantis drėgnas oras taip pat sukels ledo nuosėdų susidarymą. Jei šios priemaišos pateks į įrangą, jos bus neprognozuojamai pažeistos.

Todėl skystas azotas lauko talpykloje yra transportuojamas į MBE įrangą be dulkių dirbtuvėse, užtikrinant aukštą efektyvumą, stabilumą ir švarą, o esant žemam slėgiui, be azoto, be priemaišų, 24 valandas per parą nepertraukiamai, tokia transportavimo kontrolės sistema yra kvalifikuotas produktas.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Atitinkanti MBE įranga

Nuo 2005 m. „HL Cryogenic Equipment“ (HL CRYO) optimizuoja ir tobulina šią sistemą bei bendradarbiauja su tarptautiniais MBE įrangos gamintojais. MBE įrangos gamintojai, įskaitant DCA, REBER, palaiko bendradarbiavimo ryšius su mūsų įmone. MBE įrangos gamintojai, įskaitant DCA ir REBER, bendradarbiavo daugelyje projektų.

„Riber SA“ yra pirmaujanti pasaulyje molekulinių pluoštų epitaksijos (MBE) produktų ir susijusių paslaugų, skirtų sudėtinių puslaidininkių tyrimams ir pramoninėms reikmėms, tiekėja. „Riber MBE“ įrenginys gali nusodinti labai plonus medžiagos sluoksnius ant pagrindo, pasižymint labai aukštomis valdymo savybėmis. „HL Cryogenic Equipment“ (HL CRYO) vakuuminė įranga aprūpinta „Riber SA“ įrenginiais. Didžiausia įranga yra „Riber 6000“, o mažiausia – „Compact 21“. Ji yra geros būklės ir pelnė klientų pripažinimą.

DCA yra pasaulyje pirmaujantis oksido MBE. Nuo 1993 m. buvo sistemingai tobulinami oksidacijos metodai, antioksidacinis substrato kaitinimas ir antioksidantų šaltiniai. Dėl šios priežasties daugelis pirmaujančių laboratorijų pasirinko DCA oksido technologiją. Sudėtinės puslaidininkinės MBE sistemos naudojamos visame pasaulyje. HL kriogeninės įrangos (HL CRYO) VJ skysto azoto cirkuliacinė sistema ir kelių DCA modelių MBE įranga turi sukaupę didelę patirtį daugelyje projektų, pavyzdžiui, P600, R450, SGC800 ir kt. modeliai.

tcm (2)

Našumo lentelė

Šanchajaus techninės fizikos institutas, Kinijos mokslų akademija
11-asis Kinijos elektronikos technologijų korporacijos institutas
Puslaidininkių institutas, Kinijos mokslų akademija
Huawei
Alibaba DAMO akademija
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Sudžou Everbright fotonika

Įrašo laikas: 2021 m. gegužės 26 d.

Palikite savo žinutę