„Chip MBE“ projektas, baigtas per pastaruosius metus

Technologijos

Molekulinio pluošto epitaksija arba MBE yra naujas metodas, skirtas aukštos kokybės plonoms kristalų plėvelėms auginti ant kristalų substratų.Itin aukšto vakuumo sąlygomis prie kaitinimo krosnelės yra sumontuoti visų rūšių reikalingi komponentai ir generuojami garai per skylutes, susidariusias po koliminio pluošto atominio ar molekulinio pluošto, tiesiogiai įpurškiant į atitinkamą vieno kristalo substrato temperatūrą, kontroliuojant molekulinį pluoštą Tuo pačiu metu nuskaitant substratą, molekulės arba atomai kristalų lygiavimo sluoksniuose gali sudaryti ploną plėvelę ant substrato „augimo“.

Normaliam MBE įrangos veikimui reikalingas didelio grynumo, žemo slėgio ir itin švaraus skysto azoto kiekis nuolat ir stabiliai transportuojamas į įrangos aušinimo kamerą.Paprastai rezervuaro, kuriame tiekiamas skystas azotas, išėjimo slėgis yra nuo 0,3 MPa iki 0,8 MPa. Skystas azotas, esantis -196 ℃ temperatūroje, transportavimo vamzdynu metu lengvai išgaruoja į azotą.Kai skystas azotas, kurio dujų ir skysčio santykis yra apie 1:700, bus dujofikuotas dujotiekyje, jis užims daug skysto azoto srauto erdvės ir sumažins normalų srautą skysto azoto vamzdyno gale.Be to, skysto azoto rezervuare gali būti nuolaužų, kurios nebuvo išvalytos.Skystojo azoto vamzdyne dėl drėgno oro taip pat susidarys ledo šlakas.Jei šios priemaišos pateks į įrangą, tai sukels nenuspėjamas įrangos sugadinimą.

Todėl skystas azotas lauko talpykloje yra transportuojamas į MBE įrangą be dulkių dirbtuvėse su dideliu efektyvumu, stabilumu ir švarumu, o žemu slėgiu, be azoto, be priemaišų, 24 valandas be pertraukos, tokia transportavimo valdymo sistema yra kvalifikuotas produktas.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Tinkanti MBE įranga

Nuo 2005 metų HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimizuoja ir tobulina šią sistemą bei bendradarbiauja su tarptautiniais MBE įrangos gamintojais.MBE įrangos gamintojai, įskaitant DCA, REBER, palaiko bendradarbiavimo ryšius su mūsų įmone.MBE įrangos gamintojai, įskaitant DCA ir REBER, bendradarbiavo daugelyje projektų.

Riber SA yra pirmaujanti pasaulinė molekulinio pluošto epitaksijos (MBE) produktų ir susijusių paslaugų tiekėja, skirta sudėtinių puslaidininkių tyrimams ir pramoniniam pritaikymui.Riber MBE įrenginys gali nusodinti labai plonus medžiagos sluoksnius ant pagrindo su labai aukštu valdymu.HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) vakuuminė įranga aprūpinta Riber SA Didžiausia įranga yra Riber 6000, o mažiausia - Compact 21. Ji yra geros būklės ir yra pripažinta klientų.

DCA yra pasaulyje pirmaujanti oksido MBE.Nuo 1993 m. sistemingai plėtojama oksidacijos technika, antioksidacinis substrato kaitinimas ir antioksidantų šaltiniai.Dėl šios priežasties daugelis pirmaujančių laboratorijų pasirinko DCA oksido technologiją.Kompozicinės puslaidininkinės MBE sistemos naudojamos visame pasaulyje.HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) VJ skysto azoto cirkuliacinė sistema ir kelių DCA modelių MBE įranga turi suderinimo patirtį daugelyje projektų, tokių kaip modelis P600, R450, SGC800 ir kt.

tcm (2)

Našumo lentelė

Šanchajaus techninės fizikos institutas, Kinijos mokslų akademija
11-asis Kinijos elektronikos technologijų korporacijos institutas
Kinijos mokslų akademijos Puslaidininkių institutas
Huawei
Alibaba DAMO akademija
„Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright fotonika

Paskelbimo laikas: 2021-05-26